Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
- Бондинг пластин
- Вакуумное напыление
- Жидкостная обработка
- Зондовые измерения
- ИК инспекция
- Контрольно-измерительное оборудование
- Нанесение, проявление и сушка
- Обратное проектирование и корректировка
- Оптическая инспекция
- Очистка фотошаблонов
- Печатная электроника
- Плазмохимия
- Подача технологических газов
- Программное обеспечение
- Системы высокоточной микросборки
- Совмещение и экспонирование
- Сушка пластин
- Термический отжиг
- Тестирование лазерных диодов и светодиодов
Установка отмывки, проявления и травления Sawatec SMD-200-E
Системы серии SMD предназначены для отмывки, проявления и травления полупроводниковых пластин размером до 8 дюймов и подложек размером до 6х6 дюймов (150х150 мм). Рабочая камера способна вместить полупроводниковые пластины и подложки диаметром до 212 мм.
на заводе-изготовителе
В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.
Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.
Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.
Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.
Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.
За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.
Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)
Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)
Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)
Основные возможности:
- До 50 программ с 24 программируемыми шагами в каждой
- Функция быстрого запуска для повторных процессов
- Простая и доступная конфигурация с помощью сенсорной панели
- Технологические параметры: скорость, ускорение, время обработки, скорость распыляющей руки, время спреевого проявления
- Рука с электроприводом с динамической или статической функцией
- В комплект входит линия подачи проявителя и резервуар для материалов для одной системы проявления
- Сопло для промывки деионизированной водой и сушки азотом на подающей руке
- Управляющие элементы для дозирования сжатого воздуха и вакуума
- Возможность выбора направления вращения (по часовой стрелке, против часовой стрелки)
- Загрузка и разгрузка подложек вручную
- Механическая фиксация подложек
- Звуковой сигнал после завершения обработки
В модуле проводится индивидуальная обработка каждой подложки спреем, на экспонированные области постоянно наносится свежий проявляющий агент или травитель, чтобы избежать насыщения проявителя. Преимуществом спреевого проявления по сравнению с проявлением наливом заключается в том, что можно отделить структуры очень маленького размера и значительно уменьшить количество проявляющего раствора и, следовательно, реактива для травления.
Системы серии SMD предназначены для отмывки, проявления и травления полупроводниковых пластин размером до 8 дюймов и подложек размером до 6х6 дюймов (150х150 мм). Рабочая камера способна вместить полупроводниковые пластины и подложки диаметром до 212 мм.
Системы проявления SMD от SAWATEC являются оптимальным выбором благодаря высокой производительности, низкому расходу материалов, а также надежной воспроизводимости процессов даже на толстых слоях фоторезиста. Благодаря доступному и понятному интерфейсу и простому процессу чистки данные инструменты идеально подходят для лабораторий, научно-исследовательских институтов и пилотных проектов.
Система доступна в качестве встраиваемого или отдельно стоящего модуля.
Характеристики (базовая конфигурация)
|
|
- До 50 программ с 24 программируемыми шагами в каждой
- Функция быстрого запуска для повторных процессов
- Простая и доступная конфигурация с помощью сенсорной панели
- Технологические параметры: скорость, ускорение, время обработки, скорость распыляющей руки, время спреевого проявления
- Рука с электроприводом с динамической или статической функцией
- В комплект входит линия подачи проявителя и резервуар для материалов для одной системы проявления
- Сопло для промывки деионизированной водой и сушки азотом на подающей руке
- Управляющие элементы для дозирования сжатого воздуха и вакуума
- Возможность выбора направления вращения (по часовой стрелке, против часовой стрелки)
- Загрузка и разгрузка подложек вручную
- Механическая фиксация подложек
- Звуковой сигнал после завершения обработки
Параметры
- Скорость: от 0 до 3 000 об/мин +/-1 об/мин 1
- Ускорение: от 0 до 5 000 об/мин за 0,5 сек 1
- Время обработки до 2376 секунд
- Продолжительность дозирования 99 сек/сегмент
- Скорость подающей руки от 10 до 200 мм/сек
- Промывка и сушка азотом 99 сек/сегмент
- Нагреваемый купол до 50°C
- Сопло из нержавеющей стали 0,8 мм
*1 Для обработки рекомендуется меньшая скорость и ускорение
Дополнительные функции (опции)
- Дополнительные линии проявления (до 4 линий проявителя)
- Ножной переключатель пуск/стоп для простоты эксплуатации (длина кабеля 1,8 м)
- Сепарационная установка для отведения отработанных материалов (резервуар и лабораторное оборудование)
- Система нагрева резервуара проявителя (2 литра)
- Сопло из нержавеющей стали (0,3/0,5 мм)
Диапазон вращения держателя
Центробежные держатели доступны в разных размерах, материалах и конструкция для оптимального процесса проявления. В зависимости от случая применения используются механические или комбинированные держатели. Замена держателя производится очень быстро и не требует никаких инструментов.
- Механический держатель от 100 мм (4 дюйма) до 200 мм
(8 дюймов) из нержавеющей стали- Механический держатель 125x125 мм (5x5”) из нержавеющей стали
- Механический комбинированный держатель
из нержавеющей стали для маленьких и больших подложек- Держатели специальной конструкции под заказ
Конструкция и размеры
- Мобильный шкаф из электрополированной нержавеющей стали
- Чаша и колпак из нержавеющей стали для высокой совместимости материалов
- Закрытая технологическая камера для безопасности процесса
- Стеклянная передняя дверца для наблюдения за процессом
- Динамический серводвигатель переменного тока для точности скорости
- Размер шкафа: 850 x 750 x 2333 мм (Д x Ш x В)
- Размеры встраиваемой версии: 484 x 400 x 847 мм (Д x Ш x В)
- Вес прим. 240 кг
|
|
|
Шкаф | Встраиваемая версия (BM) |
Коммуникации
- 230 В переменного тока 50/60 Гц 16A
- Штепсельный разъем для ножного переключателя
- Сжатый воздух, трубка Ø6/4 мм (6 бар)
- Азот, трубка Ø6/4 мм (6 бар)
- ДИ-вода трубка Ø6/4 мм (6 бар)
- Разъем вытяжки, шкаф Ø76 мм (40–60 м3/ч)